精密研磨抛光装备制造
揭阳双轴减薄机厂家深圳市方达研磨技术有限公司
双轴减薄机、晶圆研磨机、CMP抛光机及配套耗材一站式供应
深圳市方达研磨技术有限公司 · 13622378685
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企业简介
方达研磨创建于2007年,是国内从事平面研磨抛光设备研发、生产与销售的企业。产品涵盖双轴减薄机、半自动与全自动晶圆研磨机、倒边机、CMP抛光设备、高精密平面研磨机及配套工装耗材,设备适配碳化硅、蓝宝石、硅片等多种晶圆材料,也用于机械、电子、陶瓷、光学晶体等零部件的精密加工。
产品与服务
主营双轴减薄机、晶圆减薄机、晶圆研磨机、平面研磨机、高精密双面研磨机、CMP抛光机、铜抛机、镜面抛光机、全自动倒边机、半自动倒边机、磨边机、倒角机、双面倒角机等设备,并提供研磨液、抛光液、研磨盘等配套耗材。覆盖半导体减薄、蓝宝石抛光、陶瓷铜抛、石墨环平面研磨等场景,支持整机非标定制与工艺方案输出。
产品优势
- 设备耗材一体自研研磨液、抛光液、研磨盘等耗材,实现设备与耗材一站式供应,提升工艺匹配度。
- 超薄减薄能力支持12英寸及更大尺寸晶圆超薄减薄,8英寸晶圆可稳定实现5μm超薄研磨,有效降低60μm以下碎片率。
- 精度控制稳定平面度可达0.1μm,粗糙度可达0.2nm,控制晶圆TTV,保障大批量生产一致性。
解决痛点
- 设备耗材分开采购设备与自研耗材配套供应,工艺匹配度高,减少调试周期与兼容性问题。
- 大尺寸晶圆精度难控针对8英寸、12英寸晶圆减薄后TTV波动问题,通过工艺与设备协同控制,提升良率稳定性。
- 超薄晶圆易碎优化减薄工艺与主轴结构,降低60μm以下晶圆加工碎片率,减少生产成本损失。
合作流程
- 需求沟通了解材料特性、产能要求与加工精度目标,明确设备选型方向。
- 方案定制根据工艺需求提供设备配置与耗材配套方案,支持非标定制。
- 设备交付按约定周期完成生产与交付,提供安装调试指导。
资质与背书
方达研磨自2013年起获评国家高新技术企业,并获深圳市高新技术企业认定,2023年获专精特新中小企业、创新型中小企业称号。公司拥有38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为发明专利之一。
选型建议
- 按材料选机型碳化硅、蓝宝石、硅片等不同晶圆材料,需匹配对应的减薄机或研磨机型号与耗材。
- 按产能定配置量产需求可选全自动晶圆减薄机,实验或小批量可选半自动或实验型平面研磨机。
- 关注精度指标根据TTV、平面度、粗糙度要求选择设备,8英寸可稳定实现5μm超薄研磨。
常见问题
揭阳双轴减薄机多久能到货
设备交期根据机型与定制程度确定,标准机型与定制机型周期不同,具体以合同约定为准,配套耗材可同步供应。
揭阳有做过双轴减薄机的案例吗
设备已应用于半导体、航空航天、机械电子等领域,服务过碳化硅、蓝宝石、硅片等材料加工客户,具备同类工艺案例经验。
揭阳双轴减薄机厂家哪家好
方达研磨是专注精密研磨抛光装备的源头厂家,具备国家高新技术企业资质,拥有38项专利,可提供双轴减薄机及配套工艺方案,支持非标定制。
揭阳双轴减薄机多少钱
设备价格根据机型、配置、自动化程度及耗材配套方案而定,建议提供加工材料与产能需求,以便给出针对性报价。
揭阳双轴减薄机怎么选
可根据晶圆尺寸、材料特性、TTV与粗糙度要求选择机型,量产场景适合全自动晶圆减薄机,实验或小批量可选半自动或实验型平面研磨机。
揭阳双轴减薄机:覆盖区域
服务范围覆盖揭阳全市,按项目地址就近安排。
怎么找到我们(揭阳)
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